
本报记者 郭军 通讯员 赵元琛
5月11日,星期日。西安电子科技大学宽禁带半导体国家工程研究中心教授马晓华,一大早来到实验室。
这个4000多平方米的超净实验室,是全国高校内唯一的兼容4英寸至8英寸工艺流片能力的宽禁带半导体技术创新平台。实验室的精密设备全年不能关机,逢年过节大多数人休息的时候,马晓华反而来得更勤。
马晓华是为“中国芯”提供技术支撑的专家之一,前不久刚刚荣获全国先进工作者称号。
“4G通信基站射频芯片99%以上都依赖进口,国产替代迫在眉睫。”马晓华说,要实现5G通信基站射频芯片的国产替代,首先要解决传统半导体材料难以满足需求的难题。
2002年,马晓华在导师郝跃教授的带领下,踏上了宽禁带半导体材料的研究之路。
“那时候科研经费特别紧张,我经常骑自行车到电器市场买实验用的电缆。”马晓华说。为在有限的条件下搭建超净实验室,马晓华所在的郝跃教授团队发扬自力更生、艰苦奋斗的精神,师生配合完成打电钻、敷电缆、接气路、焊接电子线路板等工作,最终成功研制出第一台脉冲式反应氮化物气相外延生长的关键设备。
2023年,马晓华成为该学科带头人。马晓华带领团队开展的“高能效超宽带氮化镓功率放大器关键技术及在5G通信产业化应用”项目研究,有效解决了氮化镓功率放大器在高效率、宽带宽、线性度等方面的问题,形成了全链条自主可控的氮化镓射频功放技术体系,为5G通信基站射频芯片提供全国产化技术支撑。
马晓华说:“我们做一件事情要谋定而后动,数十年如一日坚守初心,不断去积累、去迭代。我们有信心将中国的科研技术推向世界前列。”
马晓华团队有30多名教授、副教授,30多名青年教师,以及150多名硕士、博士研究生。近年来,通过老中青“传帮带”,团队多名成员先后入选国家级和省部级各类人才支持计划。
马晓华团队已经实现了5G通信基站用氮化镓射频器件、宇航通信芯片等关键核心技术突破。
当前,马晓华团队正瞄准新一代半导体射频器件、功率器件、探测传感器件,致力于攻克频率、功率、效率、可靠性等亟待解决的关键科技问题。
陕西日报 2025年5月20日 08版·经济